久々のエッチング（発動編）

エッチングの発動編ですが、基板寸法は70x100なので、基板はサンハヤトの150x100の12Kというカメレオンレジスト基板を半分にして使います。
（一つは予備、というか予備まで使ってしまったのですが...）。

この基板は2008年2月6日が賞味期限なので、ほぼ4年前のもの、ということになります。Webを見ると「6年前のを焼いた」といった猛者が多数いらっしゃるので、気にせず使います。

一枚目は失敗しました。感光はまあまあできていますが、パターンがピンぼけになっています。実は、10分+5分+3分という感じに何度か小分けに感光したのですが、パターンの浮き出し具合いをチェックした際に、微妙にずれたようです。あとは、「ちびライトの上から重石を載せて圧着する」というTIPSを忘れていたのも原因の一つかもしれません（バキュームクランプを買えば、こんな苦労はないのかもしれませんが）。

ピンぼけの図

残りの半分で再チャレンジ。こちらは何とかシャープに現像できました。
露光時間はちょっと長めにして12分です（と言いつつ、後でそれでは足りなかったことが明らかになるのですが）。

これで無事完了か、と言うとそうではなくて、今度は一見綺麗に現像できているのに銅箔が溶け出さないというトラブルが発生です。どうも、露光が足りていなくて現像時に皮膜が綺麗に溶け切らなかったようで、うっすらと皮膜が表面に残った状態になっていたようです。

この問題はこれまでも何回か経験したことがありましたが、すっかり忘れていました。これまではその状態になると基本的には諦めていたのですが、今回は「もう一度露光・現像する（OHPシートを被せたりはしないで全面を露光してしまう）」という強引な手順を踏むことで何とか回復出来ました。

あー疲れた。